Конференция ХОЛОЭКСПО 2024
Секция №5 «Интегральная фотоника»
Доклад №5.9. Интегральный плазмонный электро-абсорбционный модулятор на платформе кремний-на-изоляторе
Земцов Даниил Сергеевич, Пшеничнюк И. А., Земцова А. К., Смирнов А. С., Жигунов Д. М., Гарбузов К. Н., Косолобов С. С., Драчев В. П.
Сколковский институт науки и технологий, г. Москва
Аннотация: Создан интегральный кремниевый электро-абсорбционный модулятор в виде гибридного плазмонного волновода со слоем прозрачного проводящего оксида индия олова. Управление концентрацией свободных электронов в оксиде индия олова обеспечивает переключаемую связь волноводной и плазмонной мод, а также влияет на их параметры. Изготовленные структуры продемонстрировали полосу модуляции 40 ГГц и экстинкцию 2 дБ. Показаны конфигурации плазмонного интерфейса, подходящие для модуляции ТЕ или ТМ моды. Все изготовленные модуляторы имеют длину менее 15 мкм.
#электрооптическиймодулятор #прозрачный #проводящий #оксид #микроволновая #фотоника #фотонныеинтегральныесхемы #кремнийнаизоляторе
12 сентября 2024, Казань
https://holoexpo.ru/